第一步:模擬輸出、可組串迭加的MEMSAccelerometer.合作雙方:遼河物探裝備制造公司(西安思坦地震技術(shù)有限公司與遼河油田裕隆公司股份制企業(yè))MoswaySemiconductorCompanyLimitedRm702InnovationCenter,HongKongSciencePark合作內(nèi)容:經(jīng)協(xié)商同意合作研制開發(fā)MEMSAccelerometer。目標是在經(jīng)過6個月左右的時間內(nèi),港方利用已有的MEMS芯片制作技術(shù)和工藝,研制完成達到國外同類產(chǎn)品的主要技術(shù)指標和性能的MEMS地震檢波器12只,預留數(shù)字輸出接口。前期研發(fā)費用由港方承擔,樣品經(jīng)室內(nèi)測試、對比試驗,雙方認可后試生產(chǎn)1000只,費用雙方承擔,市場推廣后,從利潤中返還雙方的試制費。主要技術(shù)指標爭取達到:靈敏度:1.2V/g頻帶:DC-860Hz 主要是低頻,反應(yīng)深層信號失真:0.003%~0.005%量程: 2g噪聲:50 g/squtHz動態(tài): 80dB產(chǎn)品精度: 0.1%工作溫度:-40℃~+85℃合作方精誠努力,瞄準市場需求,替代傳統(tǒng)的檢波器。