描述芯敏公司可提供小型壓阻壓力傳感器芯片,其尺寸為1x1mm2。當用3VDC供電時,傳感器產生毫伏輸出電壓,正比于輸入壓力。壓力傳感器芯片為絕壓,亦可提供差壓模式。應用l 汽車輪胎壓力監測l 發動機控制l 大氣壓力測量l 空壓表l 手執壓力計l 血壓計特色l 固態、MEMS技術、高可靠性l 低成本、小尺寸l 標準壓力范圍:0-100KPa;0-200KPa;0-350KPa;0-700KPa;0-1.5KPal 非線性 0.20%FSOl 硅/硅鍵合芯片,穩定性好框圖 芯片尺寸:1x1x0.6㎜ 打線區尺寸:0.3 0.105mm硅壓力傳感器芯片技術指標除非特別指出,所有參數在5V供電及室溫下測得。最小值典型值最大值單位備注激勵電壓5.0V激勵電流1mA輸出范圍(FS范圍)100KPa507090mV1150KPa70100150mV200KPa70100150mV350KPa70100150mV700KPa70100150mV1000KPa80120180mV1.7MPa100150200mV零位輸出-3535mV2滿度溫度系數-24-19-15.5%FS/100℃恒壓供電,3零位溫度系數-7+7%FS/100℃3電阻溫度系數+18+22+33% /100℃3線性-0.45-0.15+0.45%FS4橋阻抗5K 過載壓力2X額定FS破壞壓力4X額定FS工作溫度-40+125℃存儲溫度-55+150℃注:1. 在5V恒定電壓供電下測量.2. 對于100KPa,150KPa量程,零位輸出為 50mV 3. 從0℃至60℃條件下測量。4. 根據最佳直線確定。.kPabarmbarPSIatmmmHgmmH2Okg/cm21001100150.9975010207170077001026.95250714517.1170017170024716.81275417352417.3壓力量程KPaPSA10001015001520002035003570007010001001.7MPa170A: 絕對壓力