項(xiàng)目M3030V型M3030A1流量規(guī)格（N2）10sccm～30slpm (可以根據(jù)客戶要求在10sccm到30slpm中任意一段量程進(jìn)行標(biāo)定）2準(zhǔn)確度±1%F.S（FullScale）3重復(fù)精度±0.25%F.S（FullScale）4響應(yīng)時(shí)間≤3sec(特別要求：:≤1sec)5耐壓最高95bar6工作環(huán)境溫度5℃~65℃7輸入輸出信號(hào)0~5Vdc or 4~20mA8電源±15Vdc,350mA9外形尺寸總長(zhǎng)：依進(jìn)氣口、出氣口接頭規(guī)格而定寬：36mm高：138mm1結(jié)構(gòu)氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器(Sensor)，分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。M系列氣體質(zhì)量流量控制器.M2030氣體質(zhì)量流量計(jì)與M3030型氣體質(zhì)量流量控制器相比，在結(jié)構(gòu)上它們的不同點(diǎn)是，M2030氣體質(zhì)量流量計(jì)少了電磁調(diào)節(jié)閥（SolenoidValve），其它部分基本相同。 2工作原理流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償）。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使用之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與之配套的FM-30VE系列ReadoutBox上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。相控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。 控制器輸出的流量栓檢測(cè)電壓與流過(guò)通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測(cè)輸出電為＋5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）％F.S(程比為50:1)，流量分辨率是0.1％F.S。氣體流量計(jì)，氣體流量控制器，耐腐蝕，MFC，MFM耐高壓，熱式原理，氣體質(zhì)量流量控制器范寅燁 13917099687