項目M3030V型M3030A1流量規格（N2）10sccm～30slpm (可以根據客戶要求在10sccm到30slpm中任意一段量程進行標定）2準確度±1%F.S（FullScale）3重復精度±0.25%F.S（FullScale）4響應時間≤3sec(特別要求：:≤1sec)5耐壓最高95bar6工作環境溫度5℃~65℃7輸入輸出信號0~5Vdc or 4~20mA8電源±15Vdc,350mA9外形尺寸總長：依進氣口、出氣口接頭規格而定寬：36mm高：138mm1結構氣體質量流量計由流量傳感器(Sensor)，分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質量流量計的基礎上，再加上調節閥門和PID控制電路就構成了氣體質量流量控制器。M系列氣體質量流量控制器.M2030氣體質量流量計與M3030型氣體質量流量控制器相比，在結構上它們的不同點是，M2030氣體質量流量計少了電磁調節閥（SolenoidValve），其它部分基本相同。 2工作原理流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質量流量（無需溫度壓力補償）。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使用之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與之配套的FM-30VE系列ReadoutBox上設置有穩定電源，3位半數字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關等。相控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。 控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電為＋5V。氣體質量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）％F.S(程比為50:1)，流量分辨率是0.1％F.S。氣體流量計，氣體流量控制器，耐腐蝕，MFC，MFM耐高壓，熱式原理，氣體質量流量控制器范寅燁 13917099687