性能特點 l用途 1）WX40系列為最新型FPD檢查顯微鏡，專為LCD行業 / TFT玻璃 / COG導電粒子壓痕、粒子爆破檢查 2）WX40系列機型采用4寸、6寸平臺設計，可適用于相應尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查 l特點 1）WX40系列，其微分干涉效果可與進口品牌相媲美 2）WX40系列機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術，多層寬帶鍍膜技術，采用長壽命LED光源 3）多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗需要，可用于明場、簡易偏光、微分干涉觀察 技術參數 （以下參數根據客戶實際需求配置） 配 置 參 數 光學系統 無限遠色差校正光學系統 觀察方法 明場 / 斜照明 / 偏振光 / DIC 觀 察 筒 30 鉸鏈式三目，分光比，雙目：三目=100：0或50：50 目 鏡 PL10X/22平場高眼點目鏡 轉 換 器 5孔內傾式轉換器，帶DIC插槽 物 鏡 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡5X LMPL5X /0.15 WD10.8mm 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡10X LMPL10X/0.30 WD10mm 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡20X LMPL20X/0.45 WD4mm 無限遠長工作距平場半復消金相物鏡50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm 無限遠長工作距平場半復消金相物鏡100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm 調焦機構 粗微調同軸、粗調行程33mm，微調精度0.001，帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出 載 物 臺 4寸雙層機械移動平臺，行程105X105mm，帶金屬平板平臺，右手位X、Y移動手輪 6寸三層機械移動平臺，行程158X158mm，玻璃工作臺，右手位X、Y移動手輪，帶離合器手柄，可快速移動（選配） 另可選配：8寸移動平臺 照明系統 反射：帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿；單顆大功率5W LED，白色，光強連續可調； 透射：單顆大功率5W LED，白色，光強連續可調；帶可變孔徑光闌 可選配鹵素光源照明 偏光附件 檢偏鏡可360度旋轉，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 CTV接口 1X、1/2X （WX40系列配置6寸移動平臺實物照片）