F564三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)一、技術(shù)參數(shù)行程范圍：X軸------500mm Y軸------600mm Z軸------400mm結(jié)構(gòu)型式：活動(dòng)橋式傳動(dòng)方式：柔性齒型同步帶預(yù)載荷高精度空氣軸承長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW（英國(guó)）開(kāi)放式光柵尺，分辨率為0.5 m機(jī)臺(tái)：高精度花崗巖平臺(tái) 使用環(huán)境：溫度(20?2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m，溫度變化1℃/h空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa空氣流量：100L/min 120L/min 整機(jī)尺寸：1.2mX1.4mX2.2m機(jī)臺(tái)承重：500kg整機(jī)重量：850kg 控制及探針測(cè)量系統(tǒng)：1．驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：直流伺服電機(jī)(日本)2．控制系統(tǒng)：Renishaw（英國(guó)）UCC13．操作方式：計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制4．控制軟件：SereinDMISV2.05．探測(cè)系統(tǒng)：Renishaw（英國(guó)）MH20i（標(biāo)準(zhǔn)配置）6．測(cè)量不確定度（E）：（2.8L/300） m 二、設(shè)備配置1．機(jī)臺(tái)、機(jī)座 1臺(tái)2．RENISHAW測(cè)頭座MH20i 1個(gè) RENISHAW測(cè)頭座PH10TTP20（自動(dòng)控制選配）1個(gè) 3．RENISHAW控制系統(tǒng) 1套4．操縱盒 1套5．軟件加密狗 1個(gè)6．安裝光盤（控制軟件SEREINDMISV2.0） 1張7．Serein-CMM三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)使用手冊(cè) 1本8．附件 1套9．控制計(jì)算機(jī)，顯示器，打印機(jī) 1套三、可實(shí)現(xiàn)功能1． 柔性定位：找正、旋轉(zhuǎn)、平移及坐標(biāo)存取。2． 幾何元素測(cè)量：點(diǎn)、直線、平面、圓、圓柱、圓錐、球、相交、距離、對(duì)稱、夾角。3． 形狀誤差定位：直線度、平面度、圓度、圓柱度。4． 位置誤差評(píng)定：平行度、垂直度、平面度、傾斜度、同軸度、位置度。5． 脫機(jī)編輯系統(tǒng)：自學(xué)習(xí)編程、脫機(jī)編程、自檢糾錯(cuò)功能、CAD導(dǎo)入系統(tǒng)。四、機(jī)械特點(diǎn)1． 整機(jī)設(shè)計(jì)采用單邊活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)緊湊，大幅降低了活動(dòng)框架的重量，顯著提高了系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)性能，確保了測(cè)量精度及穩(wěn)定性。2． 三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，保證測(cè)量過(guò)程中良好的溫度穩(wěn)定性及剛性。3． 三軸導(dǎo)軌均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承，使運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損。4． 長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)采用英國(guó)RENISHAW的自粘開(kāi)放式金屬光柵尺，使光柵尺與花崗巖基體的熱膨脹系數(shù)接近，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性。5． 控制系統(tǒng)采用英國(guó)RENISHAW的高速高精度自動(dòng)控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制；上下位采用光纖通訊，增強(qiáng)了電氣抗干擾能力。