技術參數1、精密度RSD 2%2、動態范圍5個數量級3、分辨率小于0.009nm(313nm)4、可測量元素72主要特點1、光學系統類型：雙單色器　　　　　　　　波長重復性：0.001nm波長范圍：175nm-800nm　　　　最大尋峰時間：5秒半峰寬：0.006nm(194nm)　　　檢測器：雙光電倍增管入/出峰：固定2、前級單色器焦距：20cm　　　　　　　　　　衍射光柵：全息凹面衍射光柵3、階梯光柵單色器焦距：30cm　　　　　　　　　　衍射光柵：中階梯平面衍射光柵4、真空紫外區：可充氮5、觀察高度：0~30mm（測微頭精確調整）6、氣體流量等離子體(11-20L/min)　　輔助氣(0-2L/min)　　載氣(0-400KPa)7、40.68MHz它激式RF發生器