技術參數 氣路通道：6（可根據客戶需求設計1-8通道）氣路流量控制器采用質量流量計控制：標準量程（N2）：200，500SCCM準確度： 1.5%線性： 0.5～1.5%重復精度： 0.2%響應時間：氣特性1～4See電特性10See工作壓差范圍：0.1～0.5MPa最大壓力：3MPa接口： 6,1/4 顯示：4位數字顯示工作環境溫度:5~45℃高純氣體不銹鋼管： 6外X 4內壓力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格截止閥： 6 主要特點 1．本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其是方便三種氣體切換使用，而不會造成大氣進入加熱爐管。2．氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。4．顯示流量準確，可有效地控制氣體消耗量。5．所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。